Мухуров Н. И. , Ефремов Г. И.

Электромеханические микроустройства
 
 
ISBN: 978-985-08-1419-7
УДК: 621.382.049.77:621.794.61
 
Number of pages: 258
Редактор: Александрович И.С.
 

No view is available.

Bibliographic description

Annotation
Рассмотрены принципы формирования анодного оксида алюминия, приведены его основные физико-механические свойства, технологические методы получения планарных и объемных микроструктур. Выведены обобщенные универсальные формулы взаимодействия активных и реактивных сил в электростатических, электротоковых и др. микроактюаторах.
Определены основные закономерности соотношения входных и выходных параметров в процессе полного функционального цикла. Предложена классификация электростатических микроустройств по конструктивному исполнению и приведены соответствующие типовые примеры с расчетным аппаратом.
Для инженерно-технических и научных работников различных отраслей промышленности (приборостроительной, радиотехнической и др.), связи, а также для студентов старших курсов, аспирантов и преподавателей радиотехнических специальностей вузов.

Contents

MARC record