Сысоев И. А. , Лунин Л. С.

Градиентная эпитаксия для получения микро- и наноструктур твердых растворов АIIIВV через тонкую газовую зону: монография
 
 
ISBN: 978-5-9296-0785-1
УДК: 539.21
ББК: 22.36
 
Ставрополь: СКФУ, 2015
Number of pages: 97
 

No view is available.

Bibliographic description

Annotation
В монографии представлены физико-химические основы градиентной эпитаксии (ГЭ) в газовой фазе через тонкую зону применительно к многокомпонентным соединениям А<sup>III</sup>ВV. Приводится мето-дика и алгоритм расчета по закономерностям роста эпитаксиальных слоев для многокомпонентных твердых растворов соединений А<sup>III</sup>ВV. Обсуждаются возможности получения различных микро- и нано-структур соединений АIIIВV с помощью ГЭ через газовую зону. Рассмотрено влияние различных технологических параметров (температура, температурный градиент, толщина зазора между источником и подложкой и т. д.) на свойства получаемых гетероструктур.
Монография адресована магистрам, асптирантам и преподавателям, а также исследователям, работающими в области технологии полупроводниковых материалов соединений А3В5 с микро- и нано-структурой.

Contents

MARC record