Яфаров Р. К.

Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий: монография
Discipline: Физика
 
 
ISBN: 978-5-9221-1150-8
УДК: 533.9
ББК: 30.61
 
Москва: Физматлит, 2009
Number of pages: 217
 

No view is available.

The book is accessible only through subscription.

Bibliographic description

Annotation

В книге обозначены и насколько возможно полно раскрыты современные тенденции и подходы в разработке СВЧ плазмохимического оборудования и нанотехнологий на его основе. Излагаются математическая теория диффузионных процессов и основы теории плазмы газового разряда в магнитном поле, описаны применяемые методы решения стохастических дифференциальных уравнений и уравнений Фоккера-Планка-Колмогорова. Даны обобщение и системное изложение опыта и результатов по разработке физико-технических основ новых типов микроволновых плазменных устройств. Приведены результаты практического использования разработанных микроволновых источников плазмы.
Материалы книги могут быть задействованы в учебном процессе в качестве спецкурсов или спецсеминаров для студентов вузов соответствующего профиля.

Contents

MARC record