Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах: монография
 
 
ISBN: 978-5-7692-1183-6
УДК: 539.2+621.38
ББК: 22.37+32.844.1
 
Number of pages: 158
Редактор: Асеев А.Л., Гриценко В.А.
 

No view is available.

The book is accessible only through subscription.

Bibliographic description

Annotation
Монография посвящена синтезу, атомной, электронной структуре, механизмам переноса заряда и применению диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах флэш-памяти. Рассматриваются наиболее важные и перспективные диэлектрики Al₂O₃, HfO₂, Ta₂O₅, ZrO₂, TiO₂, твердые растворы (HfO₂)x(Al₂O₃)₁₋x. Анализируется также электронная структура трех традиционных ключевых диэлектриков в кремниевых приборах: оксида SiO₂, оксинитрида SiOxNy и нитрида Si₃N₄ кремния. Книга адресуется студентам, аспирантам, инженерам и научным сотрудникам, занимающимся физикой твердого тела и микроэлектроникой.

Contents

MARC record